靶材，也称为溅射靶材，是在高速荷能粒子轰击下作为目标材料的物质。通过不同的激光（离子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电或阻挡等功能。靶材广泛应用于科学实验和工业加工中，如高能物理实验、材料分析、半导体制造、显示面板、太阳能电池、光学器件、磁记录等领域。靶材通常由“靶坯”和“背板”组成，靶坯由高纯金属、合金、陶瓷或复合材料制成，背板则起到固定靶坯并导热导电的作用。

    靶材是制备高品质薄膜的关键材料，其纯度必须达到99.95%以上，密度应达到理论密度的90%以上，且应具有均匀的形状与尺寸。此外，一个高洁净度和高光洁度的表面有利于实现均匀的膜层沉积。

    在溅射镀膜过程中，若靶材表面附着有油污、灰尘、颗粒状杂质等异物，会引起电弧放电，导致靶材的一部分变为熔融态并向各个方向飞溅，附着在基板或已成膜的镀膜上，将降低镀膜质量，进而影响产品的合格率，导致生产成本增加。因此，必须对靶材进行充分的清洁，确保靶材的清洁度。

靶材超声波清洗

    在靶材的制备过程中，超声波清洗技术被广泛应用于去除靶材表面的各种污染物。从原材料的初步清洗到成型、抛光后的精细清洗，再到最终产品的出厂前清洗，超声波清洗技术贯穿靶材生产的每一个环节。

原材料的初步清洗

    在靶材制备的起始阶段，原材料表面可能沾有油污、灰尘、氧化物等污染物。如果这些污染物不被有效去除，它们将掺杂进随后的熔炼、铸造等成型过程中，降低靶材的纯度。超声波清洗能够深入材料表面的微观结构，迅速去除附着的污染物，为制备高质量的靶材打下坚实基础。

成型后的清洗

    靶材在经过熔炼、铸造或压制成型后，表面可能会形成新的氧化物层或残留加工助剂。超声波清洗技术能够有效去除这些物质，确保靶材表面达到所需的洁净度，为后续的机械加工和热处理工艺提供保障。

抛光后的精细清洗

    靶材在经过机械或化学抛光后，表面光洁度得到显著提升，但同时也可能引入新的微小颗粒或化学残留物。应用超声波清洗技术可以进一步清除这些污染物，确保靶材表面达到高光洁度标准，满足薄膜制备过程中对靶材表面质量的严格要求。

背板绑定前清洗

    背板起到将溅射靶材固定在机台内的作用，高纯金属的溅射靶坯与背板可通过不同的焊接工艺进行接合。在靶坯与背板接合前，需要将表面清洁干净，以去除各类有机污染物（拉伸油、切削油、清洗剂、脱模蜡、胶黏剂、助焊剂等），保证绑定材料的牢固性和可靠性。

镀膜前清洗

    常用的靶材镀膜工艺有物理气相沉积、化学气相沉积、磁控溅射等，通过在靶材表面形成一层薄膜，可以提高其性能和耐用性。超声波清洗是靶材镀膜前非常重要的一步，可以去除靶材表面的油污、氧化物和金属杂质等，提高膜层质量和附着力。

出厂前清洗

    在靶材即将出厂前，进行最终的超声波清洗是确保产品达到客户要求的重要步骤。采用超声波清洗可有效提升靶材表面的清洁度、减少黑色氧化物产生，提升高质量膜层的沉积效率。

    超声波清洗是一种有效的靶材清洗方法，其原理是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的，具有清洗效果好、清洗速度快、不损伤靶材表面、环保节能等优点。

    在靶材的超声波清洗中，主要采用喷淋清洗和超声波清洗工艺对靶材进行全面的清洗，清洗后，使用烘干装置将靶材烘干，避免留下水印和二次污染。  

    清洗后的靶材应存储在真空包装中，使用防潮剂，并存放在密封、清洁的环境中，以避免氧化和污染，确保靶材的高清洁度和性能。

    超声波清洗技术在靶材制备过程中发挥着不可或缺的作用，为靶材的表面带来前所未有的清洁度，确保了其在薄膜制备中的卓越性能，提升产品的市场竞争力。随着技术的不断进步和创新，超声波清洗将在靶材制备领域发挥更大的作用，推动材料科学和工业生产的发展。

    重庆智渍洁环保科技有限公司（https://www.zhizijie.com）成立于2019年，是一家专业的工业设备清洗维护整体解决方案服务商。自公司成立以来，始终秉承着诚信为本、互利共赢经营理念，打造了以诚信为经营基础的企业文化；不断强化服务技能和服务水平，确立了安全第一、质量第一的产品交付原则。目前公司拥有多名有着丰富的大型工业清洗现场施工经验的项目经理、施工人员、操作工以及实验室人员，从专业上保证每个项目都能安全高效的施工落地。经过5年发展，目前公司主要提供：化学清洗、干冰清洗、UF/NF/RO膜系统清洗及运维，循环水系统清洗等服务。