什么是超声波和兆声波？

    人耳能听到的声波频率范围是从大约20Hz到20kHz。高于20 kHz的声波叫做超声波，一般可以分为普通兆声与高频兆声。普通超声的频率在20 kHz 到 130kHz，而高频超声的频率在130kHz以上，1MHz以下。

    而1MHz=1000kHz，因此兆声波指的是频率从1 MHz起步并向上到几MHz的范围。

超声波与兆声波在湿法清洗的作用？

    超声波/兆声波清洗利用高频声波在清洗液中产生的空化效应。当声波在液体传播时，声波导致液体中形成无数微小的气泡。这些气泡快速增大，并在达到一定大小后破裂。气泡的破裂产生的冲击波，击打在晶圆表面，从而实现高效清洗。

超声波与兆声波该怎样选择？

    兆声波清洗，产生的空化气泡更小，气泡破裂时释放的能量较低，在晶圆上的冲击力更温和，在去除极细小颗粒上特别有效，主要用于需要极高清洁度的芯片产品。而对于清洗较大颗粒的清洗场景，则一般使用超声波。总结起来即：频率越高，适合更小的颗粒。

    如果频率选择不匹配，会影响清洗效果。因此在选择时不能忽视超声波/兆声波的频率。 

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